超纯水系统抛光树脂半导体清洗水树脂

Tulsimer®MB-115是强酸阳离子交换树脂Tulsimer®T-46（H）和

1：1.5体积比的强碱阴离子交换树脂Tulsimer®A-33OH。

物理性貭(Physical Form)

球状颗粒(Moist spherical beads)

球状颗粒(Moist spherical beads)

离子型式(Ionic form supplied)

氢(Hydrogen)

氢氧(Hydroxide)

粒径范围(U.S.mesh in wet)

16 to 50

16 to 50

粒度范围 (Particle Size)

0.3 to 1.2 mm

0.3 to 1.2 mm

微粒含量(Fines Content)

穿过US 50 Mesh小于0.5% (Less than

0.5% passing through 50 U.S.mesh)

穿过US 50 Mesh小于0.5% (Less than

0.5% passing through 50 U.S.mesh)

总交换容量

(Total Exch. Capacity)

1.8 meq/ml minimum of

99% in hydrogen form

1.0 meq/ml minimum of 90% in hydroxide

form and less than 1% in chloride form

PH范围 (pH Range)

0 to 14

0 to 14

允许温度 (Temp. Stability)

120°C

60°C

溶解率 (Solubility)

Insoluble in all common solvents

Insoluble in all common solvents
抛光树脂回收、抛光树脂进水要求：
抛光树脂通常用于超纯水树脂中，产水质量通常能够达到18兆欧以上，为了产水质量，通常对进水要求也比一般的树脂高一些。一般正常使用的情况下进水中不能含有胶体、油脂、金属离子、有机物等物质，PH值不能超过14，进水温度不能超过树脂的使用温度，压力不得超过0.5Mpa，悬浮物应低于5mg/L。为了达到这些要求，通常会在抛光树脂前面加入石英砂、活性炭、精密过滤器等过滤装置，如果产水要求质量非常高，则需要使用反渗透+EDI膜壳进行处理。大致的工艺流程为原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→反渗透膜→EDI模块→抛光混床树脂→微孔过滤器→用水点。
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