MOCVD设备NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统那诺-马斯特
使用微信扫描二维码分享朋友圈，成交更快更简单！

更新时间：2025-03-19 10:39:02 信息编号：7b2sjhcgg6b844

价格：
面议
电镀位置：
其它
关键词：
MOCVD设备,PA-MOCVD系统,MOCVD,PA-MOCVD

张经理

17317363700 021-62318025

535199434

微信在线

获取报价在线咨询

详情介绍

MOCVD设备NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统那诺-马斯特

产品别名

MOCVD设备,PA-MOCVD系统,MOCVD,PA-MOCVD

面向地区

全国

电镀位置

其它

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁。

目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

特点：

立系统

14”不锈钢立方体腔体

1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子

加热的气体管路

RF等离子源，自动调谐

淋浴头气体分布

1100°C的旋转样品台

N2冲洗

全自动上下载片

可以兼容到集群配置中</a>

上一条青岛淄博氢气成分化验中心上海周边T型接口球墨铸铁管DN300价格下一条