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晶圆防爆真空固化炉

更新时间：2021-09-22 08:56:06 信息编号：43r6v0ncfc30d
晶圆防爆真空固化炉
￥1≥ 1台

  • 1.00 元

  • 其它

  • 出料50-250L

  • 防爆烘箱

李厚丽

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晶圆防爆真空固化炉

产品别名
晶圆防爆真空固化炉
面向地区
物料类型
其它
每次处理量范围
出料50-250L
布局形式
立式
晶圆防爆真空固化炉

品牌：GYPEX英鹏

型号：ZK-固化系列

价格：电议/面议

产品用途：

本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的设备，烘箱温度高可达450℃

性能特点：

1真空度可达10 Pa

2精体内氧含量：≤20ppm,提供氧含量检测接口

3日本优易控触摸屏，升降温斜率控制

4内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号 : ZK-固化系列

内箱尺寸（H*W*D) : 20*20*40 30*30*60

控温范围　　:　　 　 　 　RT+20℃~450℃

温度波动　:　　　 　 　 　 　±0.5℃

真空度　:　　 　 　 　 　 　 　10pa

氧含量　:　　 　 　 　 　 　 ≤20ppm

内箱材质　：　　　 　 SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质　：　　　 　 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料　：　　　 　 硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置　　:　　 　 声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率　　: 　 　 　 　 　 　 　9.0 12.0

电源　:　 　 　 　 　 　AC380V±10%3中50HZ
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